增材制造(AM)在半导体行业中正取得显著进展,特别是在制造设备和工具方面,如歧管、装配夹具和晶圆夹头。尽管这是一个相对小众但不断增长的应用领域,但陶瓷以及金属增材制造技术展示了明显的优势,包括设计更复杂的几何形状,例如带有内部...